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超细微加工

随着集成电路规模的日益增大,元器件越来越小,各种微电子电路的尺寸间距、引线都已突破微米向纳米前进,这就产生了超微加工技术。

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超高精度电铸造微细管

 

照片产品:Φ0.015mm

组成材质:不锈钢、铍铜等

薄膜材质:镍、铜、金等

外径尺寸:0.03mm

一般公差:±0.005mm

精密公差:0.0005mm(更高精密也对应)

总长:2000mm

 

随着集成电路规模的日益增大,元器件越来越小,各种微电子电路的尺寸间距、引线都已突破微米向纳米前进,这就产生了超微加工技术。

 

这种技术的关键是形成微加工区和引线光刻技术。为了提高加工精细水平,由传统的接触掩膜光刻发展到投影光刻,并采用波长短的紫外光同步辐射或电子束作为光(辐射)源,用它们进行曝光可以获得更高的分辨能力。与超精细光刻技术配合的超微加工技术还有自对准技术、离子注入掺杂、激光淀积布线。今后的微细加工方向,将是对这些装置进行改良,开发分辨能力更高的抗蚀剂,以及采用能看到原子的扫描隧道显微镜STM和场离子显微镜FIM等。

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